热场的波动使得固液界面的局部温度及梯度发生变化,晶体中溶质的均匀性发生改变,导致硅单晶生长中位错产生。温度与热场设计不匹配,导致等径拉速与直径均与设定值偏差大,造成热场波动异常,最终导致断线。
断线区间:0~250mm
原因:渣子掉落
1、固毡大盖内沿破损;
2、加料时热屏盖板及石墨大盖上存在硅渣,氩气吹拂后部分硅粉掉入埚中造成断线;
预防措施
1、开炉前检查固毡大盖破损易掉渣及时更换;二次加料时禁止料块堆至热屏内,造成料块与热屏粘接现象;
2、加完最后一筒料后采用100slpm氩气流量吹拂10min,进行低压挥发。
原因:热屏下沿高纯
热屏下沿卫生清理不彻底、热屏垫环与内胆存在间隙,热屏毡碳毡粉从缝隙处掉落;
预防措施
1、热屏清理彻底,包括内胆表面氧化物;
2、热屏毡安装均匀,热屏安装后查看热屏内外胆及垫环下沿处无缝隙。
原因:石墨夹头内高纯、籽晶异常
1、石墨夹头内石墨粉未清理干净,从夹头孔处掉落;
2、籽晶表面氧化或籽晶使用时间过长,内部已产生位错。
预防措施
1、每炉开炉前必须将石墨夹头拧开清理石墨粉;
2、老籽晶熔接位置上移或更换新籽晶。
原因:调温异常
稳温时间不够,温度波动生位错。
预防措施
增加稳温时间,寻找合适的引晶温度。
原因:引晶拉速不达标
引晶温度偏高或偏低(标准:180-220mm/hr)。
预防措施
引晶前期发现异常,建议切手动重新引晶。
原因:液口距异常
液口距偏大出现扭曲现象。
预防措施
补埚升由组长确认,以达到正常的液口距。